凈化車間光催化技術(shù)突破

中科院研發(fā)可見光催化涂層 破解凈化車間臭氧污染難題

技術(shù)背景傳統(tǒng)紫外光催化技術(shù)雖能分解有機污染物，但產(chǎn)生的臭氧二次污染長期困擾半導(dǎo)體行業(yè)。中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院歷時7年攻關(guān)，成功開發(fā)出新型氮摻雜二氧化鈦可見光催化劑。

創(chuàng)新亮點

1. 光譜響應(yīng)突破：將光響應(yīng)閾值從387nm拓展至520nm，實現(xiàn)普通LED照明下的持續(xù)催化

2. 臭氧零產(chǎn)生：通過晶面調(diào)控技術(shù)，反應(yīng)路徑選擇性達99.7%

3. 自清潔循環(huán)：與華星光電合作開發(fā)的"蜂巢式"涂層結(jié)構(gòu)，使表面接觸角動態(tài)變化5°-150°

應(yīng)用實效在長江存儲的晶圓封裝車間實測顯示：

• VOCs去除率：92.4%（甲苯/二甲苯混合體系）

• 能耗成本：較傳統(tǒng)UV系統(tǒng)降低68%

• 維護周期：從2周延長至6個月

行業(yè)影響該技術(shù)已形成17項核心專利，打破日本企業(yè)在光催化領(lǐng)域的長期壟斷。預(yù)計到2026年，可帶動相關(guān)裝備產(chǎn)業(yè)50億元產(chǎn)值。